GeH4

Te Tahi

• Waahi Pūngao

  • Waahi Lāhui Excimer/Arf Premix Gas

• Etchants

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Kaiwhakarite

  • NO,Nitric Oxide
  • H2S
  • CO,Carbon Monoxide
  • NH3
  • HCL

• Hairopakarāhi

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Kaupeka Hau Maha me te Raranga

  • O2
  • CO2
  • Hāora
  • N2
  • Kēnona
  • Nīhana
  • Karepona
  • Hērimu
  • Arohena
  • CL2

• Hālokāpene

  • C5F8
  • R508B
  • Karōnea
  • C4F8
  • Metana
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Wheka Whakamāhina

  • R290
  • R170
  • R508B

• Pūnaha Wheka

  • Pumpu
  • Rākau Pūwheka
  • Kawe Hau
  • Whakawhanake Hāora
  • VMB
  • Tāngata ISO
  • Kape Pūhau
  • Kupenga
  • Pūhau Horoihanga
  • Pūhau Tītoko

• Rara Kea Hoko Iho

  • Whakatipu Kura
  • AlH3