Хийн цилиндр

мэдээлэл

• Бусад химийн бодис

  • Цөцгий цэнэглэгч
  • AlH3

• Холимог хий

  • Excimer Laser Gas/Arf Premix Gas

• Этчантууд

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • сэтгүүлд

• Урвалж буй бодисууд

  • Азотын исэл
  • H2S
  • Нүүрстөрөгчийн дутуу исэл
  • NH3

• Нүүрсустөрөгчийн

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Бөөн ба ховор хий

  • O2
  • CO2
  • Устөрөгч
  • N2
  • Ксенон
  • Неон
  • krypton
  • Helium
  • аргон
  • CL2

• Галокарбонууд

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Хөргөлтийн хий

  • R290

• Хийн тоног төхөөрөмж

  • Valve
  • Цилиндрийн таг
  • насосны
  • Цилиндрийн тавиур
  • Хийн шүүгээ
  • Хийн цилиндр
  • Хүчилтөрөгчийн зохицуулагч