Høyrenhet 6N CF4/O2-gassblanding i hydrogen/argon-blanding for kalibrering av plasmaetsing i halvlederindustrien

Forespørsel

Oversikt
Forespørsel
Relaterte produkter

Om produktet

Fremhevet

Denne ultra-ren kalibreringsblandingen med renhet på 99,9999 % (6N) er en spesialisert prosessgassløsning som er utviklet spesielt for de strenge kravene til plasmaetsing av halvledere og avanserte tynne film-prosesser. Ved nøyaktig å blande karbon-tetrafluorid (CF4) og oksygen (O2) i en balansert matrise av hydrogen (H2) og argon (Ar) gir denne blandingen den nøyaktige kjemiske synergi som kreves for å kontrollere etsselektivitet og profilanisotropi i under-nanometer-fabrikasjon. Renheten på 6N-nivå sikrer at spor av metalliske urenheter og fukt er nesten ikke-eksisterende, noe som forhindrer vaferskontaminering og betydelig forbedrer utbyttet av enheter med komplekse arkitekturer som 3D NAND og FinFET. Inkluderingen av argon gir den nødvendige ionbombardementsenergien for fysisk sputtering, mens forholdet mellom hydrogen og oksygen er nøyaktig justert for å styre polymerpassiveringslagene, slik at høy-aspekt-forhold-graver med perfekt vertikale sidevegger oppnås. Hver sylinder fremstilles ved hjelp av avansert gravimetriske blandingsteknikker og gjennomgår en egen proprietær intern passivering for å sikre at disse reaktive komponentene forblir stabile og ikke avviker fra den angitte konsentrasjonen over tid. Leveres med en omfattende analyseattest (CoA) og sporbare til internasjonale standarder; denne blandingen er det ideelle valget for forsknings- og utviklingslab og høyvolumhalvlederfabrikker som krever absolutt konsekvens i sin plasma-kjemi. Denne «alt-i-ett»-balanserte blandingen forenkler gassleveringssystemer ved å redusere antallet enkelte gasslinjer som kreves, noe som dermed minimerer potensielle lekkasjepunkter og forenkler kalibreringsprosessen for massestrømregulatorer (MFC).

Om oss

AGEM ble etablert i 2008 som en multinasjonal profesjonell produsent og tjenesteleverandør av gassutstyr, med hovedkontor på Taiwan, Kina. Med 16 år med dedisert bransjeerfaring har selskapets globale tilstedeværelse, overlegen produksjonskunstferdighet og omfattende produktportefølje fastsatt dets stilling som et referanseforetak innen gassutstyrssektoren. Selskapet følger en globaliseringsstrategi for utvikling og har etablert moderne produksjonsanlegg på fastlandet Kina, på Taiwan, Kina, og i India, og danner dermed et produksjons- og tjenestenettverk som dekker Asia og strekker seg globalt. Hvert anlegg er utstyrt med intelligente produksjonslinjer og presisjonstesteringsutstyr, noe som muliggjør kontroll av hele prosessen – fra råvarebehandling til levering av ferdige produkter. Med en årlig produksjonskapasitet som konsekvent rangerer blant bransjens ledere, kan selskapet raskt tilpasse seg de mangfoldige behovene til globale kunder. Kjernevirksomheten fokuserer på gassrelaterte kjerneutstyr og omfatter et fullstendig sortiment av produkter, inkludert ulike industrielle gasser, spesialiserte gassventiler, høytrykksflasker, lette aluminiumsflasker og høypresisjons trykkreduserere. Disse produktene anvendes bredt i kritiske sektorer som kjemisk industri, elektronikk, helsevesen og energi. Ved hjelp av dyp teknisk ekspertise har produktene fått ISO 9001-sertifisering for kvalitetsstyringssystem samt flere autoritative internasjonale sertifikater, blant annet ASME-sertifisering for høytrykksutstyr, CE-PED-sertifisering for adgang til EU-markedet og IECEx-sertifisering for eksplosjonsbeskyttelse for global anvendelse. Nøkkelmåltall som tetthetsytelse, trykkmotstand og sikkerhetsbeskyttelse har nådd internasjonalt avanserte nivåer. Selskapet prioriterer konsekvent teknologisk innovasjon som sin kjernekonkurransefortrinn, og har samlet et internasjonalt forsknings- og utviklingslag samt investerer kontinuerlig i teknologiske gjennombrudd.

Ofte stilte spørsmål

Hva er levertiden for tilpassede blandinger med renhet på 99,9999 % (6N)?

For gasser med ekstremt høy renhet (UHP), som CF4/O2, er den typiske levertiden 10–15 arbeidsdager. Dette inkluderer nøyaktig blanding og stabilitetstesting i flere trinn for å sikre renhet på 6N-nivå og nøyaktig konsentrasjon.

Hvordan garanterer dere nøyaktigheten av konsentrasjonen i CF4/O2-blandingen?

Vi bruker gravimetriske metoder (høyoppløselig vekting) under fylling – den mest nøyaktige blandingsteknikken. Hver sylinder analyseres ved hjelp av gasskromatografi (GC) og leveres med en analyseattest (COA) som kan spores tilbake til NIST eller nasjonale standarder.

Er denne blandingen stabil, selv om den inneholder både hydrogengass (H2) og oksygengass (O2)?

Ja. Vi følger strengt sikkerhetsbestemte blandingprosedyrer, der konsentrasjonen av brennbare og oksiderende komponenter holdes innenfor sikre grenser, eller balanseres med argon (Ar) for å sikre kjemisk stabilitet og forhindre farlige reaksjoner inne i sylinderen.

Hvilken type sylinder og ventiler brukes for denne halvledergassen?

Vi bruker intern passiverte sylindere av aluminiumlegering eller polerte sylindere av rustfritt stål for å unngå overflateadsorpsjon. For gasser av 6N-kvalitet utstyres de vanligvis med DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660- eller SS 316L-sylinderventiler av rustfritt stål for å sikre null lekkasje og forhindre forurensning.

Hva er lagringskravene for denne gassblandingen?

Sylindrene skal lagres på et kaldt, tørt og godt ventilerat sted, borte fra direkte sollys og varmekilder (temperatur < 50 °C). Sørg for at sylindrene står oppreist og er sikret for å unngå at de faller.

Tilbyr dere verdensomspennende frakt av farlige gasser?

Ja, vi spesialiserer oss på logistikk av farlig gods i klasse 2. Vi leverer full dokumentasjon, inkludert MSDS (Material Safety Data Sheet), UN-sertifisert emballasje og DG-erklæringer (Dangerous Goods) for sjø- eller luftfrakt.