Excimer laser-gas/Arf premix-gas

ALLE

• Blandingsgasser

  • Excimerlaser Gas/Arf Premix Gas
  • Kalibreringsgass

• Etchants

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Reaktanter

  • NO,Nitrik Oksid
  • H2S
  • CO,Karbonmonoksid
  • NH3
  • HCL

• Hydrokarboner

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Bulk- og sjeldne gasser

  • O2
  • CO2
  • Hydrogen
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • Krypton
  • Helium
  • Argon
  • CL2

• Halokarboner

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Kjølesubstans

  • R290
  • R170
  • R508B

• Gassutstyr

  • Dewar-tank
  • Pumpe
  • Sylinderstall
  • Gasskabinn
  • Oksygenregulator
  • VMB
  • ISO-Tank
  • Sylinderdeksel
  • Ventil
  • Aluminiumsylinder
  • Stålsylinder

• Andre Kjemikalier

  • Kremopplader
  • AlH3