- Oversikt
- Forespørsel
- Relaterte produkter

Argon (AR), fluor (F2), helium (He), neon (Ne) – De forblandede gassene som brukes til å eksitere laseren i øyelaserutstyr av eksimerlasertypen er hovedsakelig fluor og argon, med neon som balansgass. Sylindrene som leveres av vårt selskap er stålsylindrer; sikkerheten kontrolleres før hver fylling, og ikke-standardiserte sylindrer fylles ikke på nytt, men gjenvinnes. Eksimerlasergasser består av en blanding av edelgass (inert gass) og halogen. 193 nm-laseren genereres ved reaksjon mellom Ar- og F2-gass under passende forhold av elektrisk stimulering og høyt trykk. Denne prosessen krever høy teknologisk kompetanse og kan kun utføres av svært få gassleverandører i verden.
Excimer gasser for delvis modeller |
||||||
Merket |
Bølgelengde |
Sylinder |
Ventil |
|||
Coherent |
193nm |
20 L |
DIN 8 |
|||
B & L |
193nm |
20 L/50 L |
DIN 8/DIN 14 |
|||
Zeiss |
193nm |
10L/20 L |
DIN 14 |
|||
VISX |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
NIDEK |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
LASERSIGHT |
193nm |
10 L |
CGA 679 |
|||
Alcon |
193nm |
20L |
DIN8 |
|||
SCHWIND |
193nm |
10 L |
DIN 8/DIN 14 |
|||
SUMMIT |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||






AGEM presenterer en nøyaktig utviklet løsning for behovet for gassblandinger til eksimerlaser: en kalibreringsgass for krypton-eksimerlaser bestående av Xe, Kr og Ne, tilpasset krevende anvendelser innen fotolitografi og halvlederprosessgasser. Som en pålitelig leverandør av spesialgassløsninger benytter AGEM flere tiår med ekspertise innen gassproduksjon og forskning og utvikling (RD) for å levere Kr/Xe/Ne-kalibreringsblandinger som oppfyller strenge krav til renhet, stabilitet og sporbarehet i både produksjons- og laboratoriemiljøer.
Produktoversikt og viktige egenskaper
Denne eksimerlaser-gassblandingen er utviklet for å støtte krypton- og xenon-eksimerlasersystemer og for å gi nøyaktig Kr/Xe/Ne-kalibreringsytelse for optiske og elektroniske produksjonsprosesser. AGEMs kalibreringsgass for krypton-eksimerlaser, en Xe-Kr-Ne-blanding, er tilgjengelig i kontrollerte konsentrasjoner med streng verifikasjon. Eksimerlaser-gassblandingen drar nytte av AGEMs strenge kvalitetskontroller og lang erfaring med spesialgassløsninger, noe som sikrer pålitelig leveranse og forutsigbar ytelse under driftsforhold.
- Reinhet og konsekvens: AGEM sikrer høyreinhet i komponentene og nøyaktig blanding for å produsere en konsekvent eksimerlaser-gassblanding. Kr/Xe/Ne-kalibreringsblandingen produseres ved hjelp av validerte prosesser og avanserte analyseteknikker for å minimere urenheter som kan påvirke laserens ytelse eller kalibreringsnøyaktighet.
- Sporbar kalibrering: Hver sylinder med Kr/Xe/Ne-kalibreringsgass inkluderer sporbar sertifisering og batchdokumentasjon, som støtter ISO-konforme prosedyrer og kvalitetssystemer for halvlederfabrikker og laboratorier. Blandingen av eksimerlaser-gass er egnet for kritisk metrologi der sporbarhet og dokumentert kvalitet er avgjørende.
- Stabilitet og holdbarhet: Formuleringen og emballasjen sikrer integriteten til eksimerlaser-gassblandingen under lagring og transport, noe som reduserer risikoen for sammensetningsendringer. AGEMs spesialgassløsninger inkluderer sylindervervaltning og anbefalinger for lagring for å bevare gassstabiliteten under bruk.
- Sikkerhet og etterlevelse: Kr/Xe/Ne-kalibreringsgassen er produsert i henhold til regulatoriske krav og beste praksis, og oppfyller sikkerhets-, merknings- og håndteringsstandardene som kreves i industrielle og laboratoriemiljøer. AGEM leverer sikkerhetsdatablad og teknisk støtte for integrering i eksisterende gasshåndteringsinfrastrukturer.
Anvendelser
AGEMs krypton-excimerlaser-gasskalibreringsgass, en blanding av Xe, Kr og Ne, er utviklet for en rekke anvendelser der nøyaktig gassammensetning og presis kalibreringsytelse er avgjørende:
- Fotolitografi og mikrofabrikasjon: Som en excimerlaser-gassblanding støtter blandingen KrF- og XeCl-lasersystemer, og muliggjør nøyaktig mønsteravbildning og kalibreringsoppgaver i halvlederproduksjon. Kalibreringsgassen Kr/Xe/Ne er optimert for å opprettholde konsekvente eksponeringskarakteristika og for å verifisere lasersystemets ytelsesparametere.
- Kalibrering av prosessgasser i halvlederindustrien: Kalibreringsblandingen Kr/Xe/Ne er godt egnet for kalibrering av sensorer, strømningsregulatorer og analyseinstrumenter som brukes i håndtering av prosessgasser i halvlederindustrien. AGEMs spesialgassløsninger sikrer pålitelige referansestandarder som er avgjørende for prosesskontroll og utbytteoptimalisering.
- Forskning og utvikling: R&D-laboratorier som arbeider med laserutvikling, optisk metrologi og gassfase-diagnostikk kan stole på AGEMs eksimerlaser-gassblanding for gjentatte eksperimentelle forhold. Kr/Xe/Ne-kalibreringsgassen støtter metodeutvikling, instrumentvalidering og sammenlignende studier.
- Testing av optiske komponenter: Kalibrering av spektroskopiske systemer, UV-detektorer og andre optiske instrumenter drar nytte av AGEMs nøyaktige Kr/Xe/Ne-kalibreringsgassformuleringer. Eksimerlaser-gassblandingen hjelper til å etablere grunnleggende responsverdier og bekrefte instrumentets linearitet.
Innovasjon og tekniske fordeler
AGEM kombinerer ekspertise innen materialvitenskap og innovasjoner innen gassblanding for å levere unike tekniske fordeler:
- Avansert blandingsteknologi: AGEM bruker høy-nøyaktig massestrøm- og blandingsteknologi for å oppnå nøyaktige blandingsforhold for eksimerlasergass. Denne nøyaktige blandingen reduserer variasjon mellom partier og levererer Kr/Xe/Ne-kalibreringsgasser som fungerer pålitelig i følsomme instrumenter og lasere.
- Robust kvalitetssikring: Hver Kr/Xe/Ne-kalibreringsgassflaske gjennomgår en omfattende analyse ved hjelp av toppmoderne instrumentering for å bekrefte sammensetning og urenhetsnivåer. AGEMs spesialgassløsninger støttes av nøye dokumentasjon og kvalitetskontrollprosedyrer som er utformet for miljøer med høy pålitelighet.
- Tilpassede løsninger: AGEM tilbyr tilpassede Kr/Xe/Ne-kalibreringsgassblandinger for å oppfylle spesifikke kundekrav angående konsentrasjon, flaskestørrelse og sertifisering. Eksimerlaser-gassblandingen kan justeres for bestemte lasersystemer eller kalibreringsstandarder, noe som muliggjør optimal ytelse i ulike driftsscenarier.
– Global støtte med lokal responsivitet: AGEMs forsknings- og utviklingskapasiteter og globale distribusjonsnettverk muliggjør rask respons og teknisk støtte i seks regioner. Kunder får fordelen av lokal forsyning samtidig som de beholder tilgang til AGEMs ekspertise innen spesialgassløsninger og konsekvent produktkvalitet.
Tekniske spesifikasjoner – representativt
AGEMs kalibreringsgass for krypton-excimerlaser, en blanding av Xe, Kr og Ne, er tilgjengelig i ulike sammensetninger og flaskekonfigurasjoner. Typiske egenskaper inkluderer: verifiserte konsentrasjoner av krypton, xenon og neon i kontrollerte forhold; urenhetskrav i samsvar med krav fra halvlederindustrien og laboratorier; samt sertifisert dokumentasjon for sporbarehet. AGEM kan på forespørsel levere nøyaktige analyseprotokoller og analyseattest.
Anbefalinger for bruk og håndtering
- Installer og bruk eksimerlaser-gassblandingen i henhold til produsentens veiledning for lasersystemer og gasshåndteringsinfrastruktur. - Følg AGEMs anbefalinger for lagring og sylindervård for å bevare integriteten til Kr/Xe/Ne-kalibreringsgassen. - Kontakt AGEMs tekniske team for hjelp med kalibreringsprotokoller, konsentrasjonsvalg og sikkerhetstiltak som er tilpasset ditt driftsmiljø.
Hvorfor velge AGEM
AGEM står for uavkunnet produktskvalitet. Som et taiwansk gassprodusent- og FoU-selskap som spesialiserer seg på spesialgassløsninger, kombinerer AGEM streng kvalitetskontroll med omfattende fagkunnskap innen elektroniske, bulk- og kalibreringsgasser. Kunder som velger AGEM for sine Kr/Xe/Ne-kalibreringsbehov får tilgang til høyrenhets eksimerlaser-gassblandingsprodukter, pålitelig dokumentasjon og teknisk støtte for halvlederprosessgasser og presisjonsoptiske applikasjoner.
For organisasjoner som krever pålitelige løsninger for eksimerlaser-gassblandinger og nøyaktig kalibreringsytelse for Kr/Xe/Ne, representerer AGEMs krypton-eksimerlaser-gasskalibreringsgass – en blanding av Xe, Kr og Ne – et høykvalitets-, sporbart- og tilpassbart alternativ. Støttet av AGEMs ekspertise innen spesialgassløsninger og streng kvalitetssikring, støtter denne eksimerlaser-gassblandingen kritiske anvendelser innen fotolitografi, kalibrering av prosessgasser i halvlederindustrien og forskning, der stabilitet, renhet og dokumentasjon er avgjørende.
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ