Wysokoczysta mieszanina gazowa CF4 i O2 (stopień czystości 6N) w zrównoważeniu wodoru i argonu do kalibracji procesów trawienia plazmowego w przemyśle półprzewodnikowym

Zapytanie

Przegląd
Zapytanie
Powiązane produkty

O produkcie

Wyświetlony

Ta specjalna mieszanina kalibracyjna o nadzwyczaj wysokiej czystości 99,9999 % (stopnia 6N) jest rozwiązaniem gazowym przeznaczonym specjalnie do spełniania rygorystycznych wymagań procesów trawienia plazmowego w przemyśle półprzewodników oraz zaawansowanych procesów cienkowarstwowych. Poprzez precyzyjne mieszanie tetrafluorku węgla (CF4) i tlenu (O2) w zrównoważonej macierzy wodoru (H2) i argonu (Ar) mieszanina ta zapewnia dokładnie wymaganą synergii chemicznej do kontrolowania selektywności trawienia oraz anizotropii profilu w procesach nanofabrykacji o rozdzielczości poniżej jednego nanometra. Czystość stopnia 6N gwarantuje praktycznie całkowitą brakowość śladowych zanieczyszczeń metalicznych i wilgoci, zapobiegając zanieczyszczeniom płytek krzemowych oraz znacząco poprawiając współczynnik wydajności urządzeń o złożonej architekturze, takiej jak pamięć 3D NAND czy tranzystory FinFET. Obecność argonu zapewnia niezbędną energię uderzenia jonów do fizycznego rozpraszania (sputteringu), podczas gdy stosunek wodoru do tlenu jest starannie dobrane, aby dostosować warstwy pasywujące polimerowe – co umożliwia tworzenie rowków o wysokim stosunku wysokości do szerokości z idealnie pionowymi ściankami bocznymi. Każda butelka jest przygotowywana przy użyciu zaawansowanej metody wagowej mieszanki oraz podlega własnościowemu procesowi pasywacji wewnętrznej, zapewniając stabilność tych reaktywnych składników i uniemożliwiając odchylenia stężenia od określonych wartości w czasie. Mieszanina dostarczana jest wraz z kompleksowym certyfikatem analizy (CoA) i jest śledzona do międzynarodowych standardów pomiarowych. Jest to idealny wybór dla laboratoriów badawczo-rozwojowych oraz dużych fabryk półprzewodników produkujących w skali masowej, które wymagają absolutnej spójności swojej chemii plazmowej. Ta kompleksowa, zrównoważona mieszanina „wszystko-w-jednym” upraszcza systemy dostarczania gazów, redukując liczbę indywidualnych przewodów gazowych – co minimalizuje potencjalne punkty przecieków oraz ułatwia proces kalibracji kontrolerów przepływu masy (MFC).

O nas

AGEM została założona w 2008 roku jako wielonarodowy profesjonalny producent i dostawca sprzętu gazowego, z siedzibą w Tajwanie, Chiny. Dzięki 16-letniemu doświadczeniu branżowemu jej globalne obecność, wysoka jakość produkcji oraz kompleksowa oferta produktowa umocniły jej pozycję jako przedsiębiorstwa wzorcowego w sektorze sprzętu gazowego. Firma realizuje strategię rozwoju globalnego, zakładając nowoczesne zakłady produkcyjne na kontynencie chińskim, w Tajwanie, Chinach oraz w Indiach, tworząc sieć produkcji i obsługi obejmującą Azję i rozciągającą się na skalę światową. Każdy z tych zakładów jest wyposażony w inteligentne linie produkcyjne oraz precyzyjne urządzenia do testowania, umożliwiając kontrolę pełnego cyklu produkcyjnego – od przetwarzania surowców po dostarczenie gotowego produktu. Przy rocznej zdolności produkcyjnej systematycznie plasującej się wśród liderów branży firma może szybko reagować na różnorodne potrzeby klientów na całym świecie. Główne obszary działalności koncentrują się na kluczowym sprzęcie gazowym, obejmującym pełną gamę produktów, takich jak różne gazy przemysłowe, specjalistyczne zawory gazowe, butle wysokociśnieniowe, lekkie butle aluminiowe oraz wysokoprecyzyjne reduktory ciśnienia. Produkty te znajdują szerokie zastosowanie w kluczowych sektorach, takich jak przemysł chemiczny, elektronika, opieka zdrowotna oraz energetyka. Korzystając z głębokiej wiedzy technicznej, produkty uzyskały certyfikat Systemu Zarządzania Jakością ISO 9001 oraz wiele autorytetowych międzynarodowych certyfikatów, w tym certyfikat ASME dla sprzętu wysokociśnieniowego, certyfikat CE-PED zapewniający dostęp do rynku unijnego oraz certyfikat IECEx w zakresie ochrony przed wybuchem przeznaczony do zastosowań na całym świecie. Kluczowe wskaźniki wydajności, takie jak właściwości uszczelniające, odporność na ciśnienie oraz funkcje ochrony bezpieczeństwa, osiągnęły poziom międzynarodowy standardu zaawansowania. Firma konsekwentnie stawia innowacje technologiczne w centrum swojej konkurencyjnej przewagi, tworząc międzynarodowy zespół badawczo-rozwojowy oraz systematycznie inwestując w technologiczne przełomy.

Najczęściej zadawane pytania

Jaki jest czas realizacji zamówień niestandardowych mieszanin o czystości 99,9999 % (6N)?

Dla gazów o nadzwyczaj wysokiej czystości (UHP), takich jak CF4/O2, typowy czas realizacji wynosi 10–15 dni roboczych. Obejmuje to precyzyjne mieszanie oraz wieloetapowe badania stabilności, zapewniające osiągnięcie czystości klasy 6N oraz dokładności stężenia.

W jaki sposób gwarantujecie dokładność stężenia mieszaniny CF4/O2?

Podczas napełniania stosujemy metodę wagową (wysokoprecyzyjne ważenie), która jest najdokładniejszą techniką mieszania. Każda butelka jest analizowana metodą chromatografii gazowej (GC) i dostarczana z certyfikatem analizy (COA) śledzonym do standardów NIST lub krajowych standardów metrologicznych.

Czy ta mieszanina jest stabilna, skoro zawiera zarówno wodór (H2), jak i tlen (O2)?

Tak. Ścisłe przestrzegamy protokołów bezpieczeństwa przy mieszaniu, utrzymując stężenia składników palnych i utleniających w granicach bezpiecznych lub balansując je argonem (Ar), aby zapewnić stabilność chemiczną i zapobiec niebezpiecznym reakcjom wewnątrz butelki.

Jakiego typu butelka i zawór są stosowane dla tego gazu półprzewodnikowego?

Do wewnętrznej passywacji stosujemy cylinder z aluminium stopowego lub polerowane cylinder ze stali nierdzewnej, aby zapobiec adsorpcji na powierzchni. Dla gazów klasy 6N zwykle montujemy zawory DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 lub ze stali nierdzewnej SS 316L, zapewniające całkowitą szczelność i zapobiegające zanieczyszczeniom.

Jakie są wymagania dotyczące przechowywania tej mieszaniny gazowej?

Cylinder należy przechowywać w chłodnym, suchym i dobrze wentylowanym miejscu, z dala od bezpośredniego światła słonecznego i źródeł ciepła (temperatura < 50 °C). Cylinder należy umieszczać pionowo i zabezpieczać przed przewróceniem.

Czy oferujecie wysyłkę gazów niebezpiecznych na całym świecie?

Tak, specjalizujemy się w logistyce towarów niebezpiecznych klasy 2. Udostępniamy pełną dokumentację, w tym kartę charakterystyki bezpieczeństwa MSDS (Material Safety Data Sheet), opakowania certyfikowane przez ONZ oraz deklaracje dotyczących towarów niebezpiecznych DG (Dangerous Goods) do transportu morskiego lub lotniczego.