Etchanty

All

• Gazy Mieszaniny

  • Gas Laserowy Excimer/Arf Premix Gas

• Etchanty

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Reaktancje

  • NO,Tlenek Azotu
  • H2S
  • CO,Monoksyd Węgla
  • NH3
  • HCL

• Węglowodory

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Gazy Stałe i Rzadkie

  • O2
  • CO2
  • Wodór
  • N2
  • Ksenon
  • Neon
  • Krypton
  • Hel
  • Arkon
  • CL2

• Halogenowodory

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Gaz Chłodniczy

  • R290
  • R170
  • R508B

• Wyposażenie Gazowe

  • Pompa
  • Stojak Dla Cylindrów
  • Szafa Gazowa
  • Regulator Tlenowy
  • VMB
  • Zbiornik ISO
  • Klapy Walec
  • Zawór
  • Walec Aluminiowy
  • Walec Stalowy

• Inne Chemikalia

  • Ładowarka Kremu
  • AlH3