ВСЕ

Высокочистая газовая смесь CF₄ и O₂ (чистота 6N) с балансом водорода и аргона для калибровки в плазменном травлении в полупроводниковой промышленности

Высокочистая газовая смесь CF₄ и O₂ (чистота 6N) с балансом водорода и аргона для калибровки в плазменном травлении в полупроводниковой промышленности

Запрос

Обзор
Запрос
Сопутствующие продукты

О товаре

Ключевые особенности

Эта калибровочная смесь сверхвысокой чистоты 99,9999 % (6N) представляет собой специализированное технологическое газовое решение, разработанное специально для строгих требований плазменного травления полупроводников и передовых тонкоплёночных процессов. Точное смешивание тетрафторида углерода (CF4) и кислорода (O2) в сбалансированной матрице водорода (H2) и аргона (Ar) обеспечивает необходимый химический синергетический эффект для контроля селективности травления и анизотропии профиля при изготовлении структур с размерами менее одного нанометра. Степень чистоты класса 6N гарантирует практически полное отсутствие следовых металлических примесей и влаги, предотвращая загрязнение пластин и значительно повышая выход годных изделий при производстве сложных архитектур, таких как 3D NAND и FinFET. Включение аргона обеспечивает необходимую энергию ионной бомбардировки для физического распыления, тогда как соотношение водорода и кислорода тщательно откалибровано для регулирования пассивирующих полимерных слоёв, что позволяет формировать узкие канавки с высоким соотношением глубины к ширине и идеально вертикальными боковыми стенками. Каждый баллон готовится с применением передовых гравиметрических методов смешивания и подвергается собственной внутренней пассивации, гарантируя стабильность этих реакционноспособных компонентов и отсутствие отклонений их концентрации во времени. Поставляется с полным сертификатом анализа (CoA), прослеживаемым до международных стандартов. Эта сбалансированная «всё-в-одном» смесь является оптимальным выбором для лабораторий НИОКР и крупносерийных полупроводниковых фабрик, которым требуется абсолютная стабильность плазмохимии. Упрощает системы подачи газа за счёт сокращения количества отдельных газовых магистралей, тем самым минимизируя потенциальные точки утечки и упрощая процесс калибровки контроллеров массового расхода (MFC).

О нас

Компания AGEM была основана в 2008 году как международный профессиональный производитель и поставщик газового оборудования со штаб-квартирой на Тайване, Китай. Благодаря 16 годам целенаправленного опыта в отрасли её глобальное присутствие, высококачественные производственные технологии и широкий ассортимент продукции укрепили её статус эталонного предприятия в секторе газового оборудования. Компания придерживается стратегии глобального развития, создав современные производственные базы на материковом Китае, Тайване (Китай) и в Индии, сформировав тем самым производственно-сервисную сеть, охватывающую Азию и распространяющуюся по всему миру. Каждая из баз оснащена интеллектуальными производственными линиями и точным испытательным оборудованием, что обеспечивает полный контроль над всеми этапами — от обработки сырья до поставки готовой продукции. Ежегодные объёмы производства постоянно входят в число лидеров отрасли, позволяя компании оперативно реагировать на разнообразные потребности клиентов по всему миру. Основной вид деятельности сосредоточен на ключевом газовом оборудовании и включает полный спектр продукции: различные промышленные газы, специализированные газовые клапаны, высоконапорные баллоны, облегчённые алюминиевые баллоны и высокоточные редукторы давления. Эти изделия широко применяются в таких критически важных отраслях, как химическая промышленность, электроника, здравоохранение и энергетика. Благодаря глубоким техническим компетенциям продукция компании получила сертификат соответствия системе менеджмента качества ISO 9001, а также ряд авторитетных международных сертификатов, включая сертификат ASME для высоконапорного оборудования, сертификат CE-PED для доступа на рынок Европейского союза и взрывозащищённый сертификат IECEx для применения по всему миру. Такие ключевые показатели эффективности, как герметичность, прочность при повышенном давлении и функции защиты безопасности, достигли международно признанного передового уровня. Компания последовательно рассматривает технологические инновации как свою ключевую конкурентную силу, формируя международную исследовательско-разработочную команду и постоянно инвестируя в технологические прорывы.

Часто задаваемые вопросы

Какой срок выполнения заказа на индивидуальные смеси чистотой 99,9999 % (6N)?

Для газов сверхвысокой чистоты (UHP), таких как CF4/O2, типичный срок выполнения заказа составляет от 10 до 15 рабочих дней. Он включает точное приготовление смеси и многоступенчатые испытания на стабильность для обеспечения чистоты класса 6N и точности концентрации.

Как вы гарантируете точность концентрации смеси CF4/O2?

При наполнении мы применяем гравиметрический метод (высокоточное взвешивание) — наиболее точную технологию приготовления смесей. Каждый баллон анализируется методом газовой хроматографии (GC) и поставляется с сертификатом анализа (COA), прослеживаемым до стандартов NIST или национальных стандартов.

Стабильна ли эта смесь, учитывая, что она содержит как водород H2, так и кислород O2?

Да. Мы строго соблюдаем протоколы безопасного приготовления смесей: концентрация воспламеняющихся и окисляющих компонентов поддерживается в пределах безопасных значений либо балансируется аргоном (Ar) для обеспечения химической стабильности и предотвращения любых опасных реакций внутри баллона.

Какой тип баллона и клапана используется для этого полупроводникового газа?

Мы используем внутренне пассивированные цилиндры из алюминиевого сплава или полированные цилиндры из нержавеющей стали для предотвращения адсорбции на поверхности. Для газов класса 6N обычно устанавливаются клапаны DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 или из нержавеющей стали марки SS 316L, что обеспечивает полную герметичность и предотвращает загрязнение.

Каковы требования к хранению этой газовой смеси?

Цилиндры следует хранить в прохладном, сухом и хорошо проветриваемом помещении, вдали от прямых солнечных лучей и источников тепла (температура < 50 °C). Цилиндры должны быть надёжно зафиксированы в вертикальном положении во избежание падения.

Предоставляете ли вы международные перевозки опасных газов?

Да, мы специализируемся на логистике опасных грузов класса 2. Мы предоставляем полный комплект документации, включая MSDS (Material Safety Data Sheet), упаковку, сертифицированную по стандартам ООН, и декларации на опасные грузы (DG) для морских и авиаперевозок.