Этчанты

ВСЕ

• Смесь Газов

  • Газ Эксимерного Лазера/Arf Premix Gas

• Этчанты

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Реактанты

  • NO,Нитрический Оксид
  • H2S
  • CO,Углекислый Газ
  • NH3
  • HCL

• Углеводороды

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • ЭО/ЭТО

• Компоненты Двигателя

  • O2
  • CO2
  • Водород
  • N2
  • Ксенон
  • Неон
  • Криптон
  • Гелий
  • Аргон
  • CL2

• Галокарbons

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Хладагент

  • R290
  • R170
  • R508B

• Газовое Оборудование

  • Насос
  • Стойка Для Баллонов
  • Газовый Шкаф
  • Редуктор Кислорода
  • ВМБ
  • Бак ISO
  • Головка Цилиндра
  • Клапан
  • Алюминиевый Цилиндр
  • Стальной Цилиндр

• Другие Химические Вещества

  • Заряд Крема
  • AlH3