ВСЕ

Высокая чистота 99,999 %, объём 10 л / 8 л — поставка газа гексафторбутадиена C4F6 для высокотехнологичных применений и электронного производства

Высокая чистота 99,999 %, объём 10 л / 8 л — поставка газа гексафторбутадиена C4F6 для высокотехнологичных применений и электронного производства

Запрос

Обзор
Запрос
Сопутствующие товары

О продукте

Выделять

Электронный класс чистоты для производства полупроводников. Наш C4F6 доступен в сверхвысокочистых сортах до 5N (99,999 %), характеризующихся чрезвычайно низким содержанием примесей, включая кислород (O₂), влагу (H₂O) и углеводороды, что обеспечивает превосходную стабильность плазмы, стабильные параметры травления и высокую воспроизводимость процесса — требования, предъявляемые при изготовлении передовых полупроводниковых устройств. Оптимизирован для передовых применений плазменного травления. C4F6 специально разработан для высокоточных процессов плазменного травления, включая травление диэлектриков, травление оксидных слоёв, формирование рисунка в материалах с низкой диэлектрической проницаемостью (low-k) и контроль критических размеров. По сравнению с традиционными фторуглеродными газами, такими как CF₄, C₂F₆ и C₃F₈, он обеспечивает повышенную селективность, анизотропное травление и улучшенную точность профиля, что делает его идеальным решением для производства передовых логических ИС, микросхем памяти и МЭМС. Альтернатива с низким потенциалом глобального потепления (GWP). По сравнению с традиционными перфторуглеродными газами C4F6 обеспечивает более высокую эффективность травления, снижение расхода газа и меньшее воздействие на окружающую среду, помогая производителям полупроводников достигать целей устойчивого развития без ущерба для производительности и выхода годных изделий. Строгий контроль содержания примесей и влаги. Мы используем передовые системы очистки газов, прецизионные аналитические приборы и строгие протоколы контроля качества, гарантирующие содержание влаги (H₂O) ≤ 1 ppm, кислорода (O₂) ≤ 1 ppm и суммарных углеводородов ≤ 1 ppm, что эффективно предотвращает загрязнение пластин, нестабильность плазмы и технологические дефекты, обеспечивая стабильную и надёжную производительность при обработке полупроводников. Сертифицированные баллоны с поверхностью полупроводникового класса. Наш C4F6 поставляется в стандартных баллонах объёмом 47 л и 10 л, а также в баллонах нестандартных размеров, изготовленных в соответствии со стандартами ISO 9809, DOT 3AA и TPED EN. По заказу возможна внутренняя электрохимическая полировка и пассивация для минимизации образования частиц, предотвращения загрязнения газа и поддержания сверхвысокой чистоты газа при хранении и эксплуатации.

О компании

Компания AGEM была основана в 2008 году как международный профессиональный производитель и поставщик газового оборудования со штаб-квартирой на Тайване, Китай. Благодаря 16 годам целенаправленного опыта в отрасли её глобальное присутствие, высококачественные производственные технологии и широкий ассортимент продукции укрепили её статус эталонного предприятия в секторе газового оборудования. Компания придерживается стратегии глобального развития, создав современные производственные базы на материковом Китае, Тайване (Китай) и в Индии, сформировав тем самым производственно-сервисную сеть, охватывающую Азию и распространяющуюся по всему миру. Каждая из баз оснащена интеллектуальными производственными линиями и точным испытательным оборудованием, что обеспечивает полный контроль над всеми этапами — от обработки сырья до поставки готовой продукции. Ежегодные объёмы производства постоянно входят в число лидеров отрасли, позволяя компании оперативно реагировать на разнообразные потребности клиентов по всему миру. Основной вид деятельности сосредоточен на ключевом газовом оборудовании и включает полный спектр продукции: различные промышленные газы, специализированные газовые клапаны, высоконапорные баллоны, облегчённые алюминиевые баллоны и высокоточные редукторы давления. Эти изделия широко применяются в таких критически важных отраслях, как химическая промышленность, электроника, здравоохранение и энергетика. Благодаря глубоким техническим компетенциям продукция компании получила сертификат соответствия системе менеджмента качества ISO 9001, а также ряд авторитетных международных сертификатов, включая сертификат ASME для высоконапорного оборудования, сертификат CE-PED для доступа на рынок Европейского союза и взрывозащищённый сертификат IECEx для применения по всему миру. Такие ключевые показатели эффективности, как герметичность, прочность при повышенном давлении и функции защиты безопасности, достигли международно признанного передового уровня. Компания последовательно рассматривает технологические инновации как свою ключевую конкурентную силу, формируя международную исследовательско-разработочную команду и постоянно инвестируя в технологические прорывы.

Часто задаваемые вопросы

Какие степени чистоты C4F6 вы предлагаете?

Мы предлагаем C4F6 полупроводникового качества, включая марки 4N (99,99 %), 4,5N (99,995 %) и 5N (99,999 %). Более высокие степени чистоты доступны по запросу.

Каково типовое применение C4F6?

C4F6 в основном используется в плазменном травлении полупроводниковых материалов, травлении диэлектрических слоёв, травлении оксидных слоёв, травлении низкокилометровых (low-k) диэлектриков, производстве МЭМС и изготовлении передовых интегральных схем.

Какие размеры баллонов доступны?

Стандартная упаковка включает баллоны объёмом 47 л, 10 л, 8 л, а также баллоны нестандартных размеров — по запросу. Для полупроводниковых применений доступна электрополировка внутренней поверхности баллонов.

Какое типовое давление наполнения и масса наполнения?

Типовые параметры наполнения: давление наполнения до 13–15 МПа, масса наполнения — приблизительно 20–25 кг в баллоне объёмом 47 л. Точная масса наполнения зависит от степени чистоты и требований заказчика.

Какой тип вентиля используется для баллонов с C4F6?

Распространённые типы клапанов включают CGA 716, DISS 716 и клапаны повышенной чистоты для полупроводниковой промышленности; подбор клапанов может быть адаптирован с учётом региональных стандартов

Как вы обеспечиваете чистоту и стабильность газа?

Мы обеспечиваем высокое качество за счёт передовых систем очистки газа, технологий удаления влаги и кислорода, газохроматографического (ГХ) анализа, а также предоставляем сертификат анализа (СА) к каждому баллону

Какой срок поставки?

Типичный срок поставки составляет от 15 до 25 дней после получения предоплаты. Более срочная поставка возможна в зависимости от наличия товара на складе и готовности баллонов

С какими стандартами соответствуют ваши баллоны?

Наши баллоны соответствуют стандартам ISO 9809, DOT 3AA, TPED и EN. По запросу доступна проверка сторонней организацией.