- Обзор
- Запрос
- Сопутствующие товары

Аргон (AR), фтор (F2), гелий (He), неон (Ne) — предварительно смешанные газы, используемые для возбуждения лазера в офтальмологическом эксимерном лазерном оборудовании; основными компонентами являются фтор и аргон, а неон применяется в качестве балансирующего газа. Баллоны, поставляемые нашей компанией, стальные; перед каждой заправкой проводится проверка их безопасности; нестандартные баллоны не заправляются и подлежат утилизации. Эксимерные лазерные газы состоят из смеси благородного газа (инертного газа) и галогена. Лазерное излучение с длиной волны 193 нм создаётся при реакции газов Ar и F2 в условиях электрического возбуждения и высокого давления. Этот процесс требует высоких технологий и осуществляется лишь немногими газовыми компаниями в мире
Эксимерные газы для частичных моделей |
||||||
Бренд |
Длина волны |
Цилиндр |
Клапан |
|||
Последовательно |
193нм |
20 Л |
DIN 8 |
|||
B & L |
193нм |
20 л/50 л |
DIN 8/DIN 14 |
|||
Zeiss |
193нм |
10л/20 л |
DIN 14 |
|||
VISX |
193нм |
16 Л |
CGA 679 |
|||
NIDEK |
193нм |
16 Л |
CGA 679 |
|||
LASERSIGHT |
193нм |
10 л |
CGA 679 |
|||
Alcon |
193нм |
20л |
DIN8 |
|||
SCHWIND |
193нм |
10 л |
DIN 8/DIN 14 |
|||
SUMMIT |
193нм |
16 Л |
CGA 679 |
|||






AGEM представляет высокоточное решение для потребностей в газовых смесях для эксимерных лазеров: калибровочный газ для криптонового эксимерного лазера, состоящий из ксенона (Xe), криптона (Kr) и неона (Ne), специально разработанный для требовательных применений в фотолитографии и в качестве технологических газов в полупроводниковой промышленности. Будучи надёжным поставщиком специализированных газовых решений, AGEM использует многолетний опыт в производстве газов и НИОКР для поставки калибровочных смесей Kr/Xe/Ne, отвечающих строгим требованиям к чистоте, стабильности и прослеживаемости как в производственных, так и в лабораторных условиях.
Обзор изделия и ключевые особенности
Эта газовая смесь для эксимерного лазера разработана для поддержки лазерных систем на криптоне и ксеноне, а также для обеспечения точной калибровочной производительности Kr/Xe/Ne в оптических и электронных производственных процессах. Калибровочный газ AGEM для эксимерного лазера на криптоне — газовая смесь Xe/Kr/Ne — доступен в строго контролируемых концентрациях с тщательной верификацией. Газовая смесь для эксимерного лазера выгодно отличается строгим контролем качества AGEM и многолетним опытом в области специализированных газовых решений, что гарантирует надёжные поставки и предсказуемое поведение в рабочих условиях.
- Чистота и стабильность: AGEM обеспечивает компоненты высокой чистоты и точное дозирование для получения стабильной газовой смеси для эксимерного лазера. Калибровочная смесь Kr/Xe/Ne изготавливается по аттестованным технологическим процессам с применением передовых аналитических методов для минимизации примесей, которые могут повлиять на эффективность лазера или точность калибровки.
— Прослеживаемая калибровка: каждый баллон с калибровочным газом Kr/Xe/Ne поставляется с сертификатом прослеживаемости и пакетом документации по партии, что поддерживает процедуры и системы качества в соответствии со стандартами ISO для полупроводниковых фабрик и лабораторий. Смесь газов для эксимерных лазеров подходит для критически важных измерений, где обязательны прослеживаемость и документально подтверждённое качество.
— Стабильность и срок хранения: состав и упаковка обеспечивают сохранность смеси газов для эксимерных лазеров при хранении и транспортировке, минимизируя риск изменения состава. Специализированные газовые решения AGEM включают управление баллонами и рекомендации по хранению для поддержания стабильности газа в течение всего срока эксплуатации.
— Безопасность и соответствие требованиям: калибровочный газ Kr/Xe/Ne производится в строгом соответствии с нормативными требованиями и передовыми отраслевыми практиками и отвечает стандартам безопасности, маркировки и обращения, необходимым для промышленных и лабораторных условий. AGEM предоставляет паспорта безопасности и техническую поддержку для интеграции в существующие инфраструктуры обращения с газами.
Области применения
Калибровочный газ для эксимерного лазера Krypton от AGEM — смесь газов Xe, Kr и Ne, разработанная для различных применений, где критически важны точный состав газа и его калибровочные характеристики:
- Фотолитография и микрообработка: в качестве смеси газов для эксимерного лазера данная смесь поддерживает лазерные системы KrF и XeCl, обеспечивая точное нанесение рисунка и выполнение калибровочных задач в производстве полупроводников. Калибровочный газ Kr/Xe/Ne оптимизирован для поддержания стабильных характеристик экспозиции и проверки параметров выходного излучения лазера.
- Калибровка технологических газов в полупроводниковой промышленности: калибровочная смесь Kr/Xe/Ne хорошо подходит для калибровки датчиков, регуляторов расхода и аналитических приборов, используемых при управлении технологическими газами в полупроводниковом производстве. Специализированные газовые решения AGEM обеспечивают надёжные эталонные стандарты, необходимые для контроля процессов и оптимизации выхода годной продукции.
— Научные исследования и разработка: лаборатории НИОКР, работающие над созданием лазеров, оптической метрологии и диагностикой газовых фаз, могут полагаться на газовую смесь AGEM для эксимерных лазеров, обеспечивающую воспроизводимые экспериментальные условия. Калибровочный газ Kr/Xe/Ne поддерживает разработку методик, валидацию приборов и сравнительные исследования.
— Испытания оптических компонентов: калибровка спектроскопических систем, УФ-детекторов и других оптических приборов выигрывает от точных калибровочных газовых смесей AGEM на основе Kr/Xe/Ne. Газовая смесь для эксимерных лазеров помогает установить базовые отклики и проверить линейность приборов.
Инновации и технические преимущества
AGEM объединяет экспертизу в области материаловедения и инновации в газовом смешивании, обеспечивая уникальные технические преимущества:
— Передовые технологии смешивания: AGEM применяет высокоточные технологии контроля массового расхода и смешивания для достижения точных соотношений компонентов в газовых смесях для эксимерных лазеров. Такая точность смешивания снижает разброс между партиями и обеспечивает стабильные характеристики калибровочных газов Kr/Xe/Ne при работе в чувствительных приборах и лазерах.
— Надёжное обеспечение качества: каждый баллон с калибровочным газом Kr/Xe/Ne подвергается всестороннему анализу с использованием современного измерительного оборудования для подтверждения состава и уровня примесей. Специализированные газовые решения AGEM сопровождаются тщательно оформленной документацией и строгими протоколами контроля качества, разработанными для условий, требующих высокой надёжности.
— Индивидуальные решения: AGEM предлагает персонализированные газовые смеси Kr/Xe/Ne для калибровки, соответствующие конкретным требованиям заказчика по концентрации, объёму баллона и виду сертификации. Состав газовой смеси для эксимерных лазеров может быть адаптирован под определённые лазерные системы или стандарты калибровки, что обеспечивает оптимальную производительность в различных эксплуатационных условиях.
— Глобальная поддержка с локальной оперативностью: возможности AGEM в области НИОКР и глобальная дистрибьюторская сеть обеспечивают быстрое реагирование и техническую поддержку в шести регионах. Клиенты получают преимущества локальных поставок, сохраняя при этом доступ к экспертным решениям AGEM в области специализированных газов и стабильному качеству продукции.
Технические характеристики — типовые
Калибровочный газ AGEM для криптоновых эксимерных лазеров — смесь Xe/Kr/Ne — доступен в различных составах и конфигурациях баллонов. Типичные характеристики включают: подтверждённые концентрации криптона, ксенона и неона в строго контролируемых соотношениях; спецификации по примесям, соответствующие требованиям полупроводниковой промышленности и лабораторий; а также сертифицированную документацию для обеспечения прослеживаемости. По запросу AGEM предоставляет точные аналитические отчёты и сертификат анализа.
Рекомендации по применению и обращению
— Устанавливайте и используйте газовую смесь для эксимерного лазера в соответствии с рекомендациями производителя лазерных систем и инфраструктуры для обращения с газами. — Соблюдайте рекомендации AGEM по хранению и управлению баллонами, чтобы сохранить целостность калибровочного газа Kr/Xe/Ne. — Обратитесь в техническую службу AGEM за консультацией по протоколам калибровки, выбору концентрации и мерам безопасности, адаптированным под вашу эксплуатационную среду.
Почему выбирают AGEM
AGEM привержена безкомпромиссному качеству продукции. Являясь тайваньской компанией по производству газов и научно-исследовательских разработок, специализирующейся на решениях в области специальных газов, AGEM сочетает строгий контроль качества с глубокими экспертными знаниями в сфере электронных, промышленных и калибровочных газов. Клиенты, выбирающие AGEM для своих потребностей в калибровке Kr/Xe/Ne, получают доступ к высокочистым газовым смесям для эксимерных лазеров, надёжной документации и технической поддержки для газов, применяемых в полупроводниковых процессах и прецизионных оптических приложениях.
Для организаций, которым требуются надёжные решения на основе газовых смесей для эксимерных лазеров и точная калибровка по Kr/Xe/Ne, калибровочный газ AGEM для эксимерных лазеров на основе криптона — это высококачественный, прослеживаемый и настраиваемый вариант. Благодаря экспертным знаниям AGEM в области специальных газов и строгому контролю качества эта газовая смесь для эксимерных лазеров поддерживает критически важные процессы фотолитографии, калибровку технологических газов в полупроводниковой промышленности и научные исследования, где первостепенное значение имеют стабильность, чистота и документирование.
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ