Plynové zariadenie

All

• Miešaniny Plynov

  • Plyn Excimerového Laseru/Arf Premix Plyn

• Etchanty

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Reaktanty

  • NO, Nitrický Oksíd
  • H2S
  • CO, Uhlík(I) Oxid
  • NH3
  • HCL

• Hydrocarbons

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Hrubé A Zriedkavé Plyny

  • O2
  • CO2
  • Vodík
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • Krypton
  • Helium
  • Argón
  • CL2

• Halogenovodíky

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Chladivá Plynová Hobota

  • R290
  • R170
  • R508B

• Plynové Zariadenie

  • Čerpadlo
  • Stojan Pre Bunky
  • Plynový Kabinet
  • Regulátor Kyslíka
  • VMB
  • ISO Baka
  • Kopiec Valca
  • Ventíl
  • Hliníkový Valc
  • Ocelový Valc

• Iné Chemikálie

  • Nabíjač na Krém
  • AlH3