Lahat ng Kategorya

Mataas na Kalidad na 6N na CF4 at O2 na Gas Mixture sa Hydrogen at Argon Balance para sa Semiconductor Plasma Etching Calibration

Pagsisiyasat

Wuhan Air Gas Electronic
Materials Enterprise Co., Ltd

Kontak at Benta
Telepon / Wechat / Whatsapp + 86 158 0713 4086 | Whatsapp
Telepono / Fax TEL:+886-7-621 8118Faks:+886-7-621 8998
Kuwarto 02, Ika-sampung Palapag, Yunit 1, Unang Yugto, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, Tsina
  • Pangkalahatang-ideya
  • Pagsisiyasat
  • Mga kaugnay na produkto

Tungkol sa Produkto

Highlight

Ang espesyal na proseso ng gas na ito—na may ultra-mataas na kalinisan na 99.9999% (6N)—ay isang kalibrasyon na halo na idinisenyo partikular para sa mahigpit na pangangailangan ng Semiconductor Plasma Etching at ng mga Advanced Thin-Film na proseso. Sa pamamagitan ng eksaktong paghalo ng Carbon Tetrafluoride (CF4) at Oxygen (O2) sa loob ng balanseng matrix ng Hydrogen (H2) at Argon (Ar), ang halo na ito ay nagbibigay ng eksaktong sintesis na kimikal na kailangan upang kontrolin ang etch selectivity at profile anisotropy sa sub-nanometer na paggawa. Ang kalinisan na antas na 6N ay nagsisiguro na ang mga bakas ng metal at kahalumigmigan ay halos wala, na nakakaiwas sa kontaminasyon ng wafer at malaki ang tumutulong sa pagtaas ng device yield para sa mga kumplikadong arkitektura tulad ng 3D NAND at FinFET. Ang pagkakasama ng Argon ay nagbibigay ng kinakailangang enerhiya ng ion bombardment para sa pisikal na sputtering, samantalang ang ratio ng Hydrogen/Oxygen ay maingat na ina-adjust upang i-tune ang mga polymer passivation layer, na nagsisigurong makabuo ng mataas-na-aspeto-rasyo na mga trench na may perpektong vertikal na gilid. Bawat silindro ay inihanda gamit ang advanced na gravimetric mixing at pinoproseso ng proprietary na internal passivization upang matiyak na ang mga reaktibong sangkap ay mananatiling istable at hindi magbabago mula sa tinukoy na konsentrasyon sa paglipas ng panahon. Kasama ang komprehensibong Certificate of Analysis (CoA) at may traceability sa mga pandaigdigang pamantayan, ang halo na ito ay ang pinakamainam na opsyon para sa mga R&D lab at mataas-na-volume na semiconductor fab na nangangailangan ng ganap na pagkakapareho sa kanilang plasma chemistry. Ang "all-in-one" na balanseng halo na ito ay nagpapasimple sa mga sistema ng gas delivery sa pamamagitan ng pagbawas sa bilang ng hiwalay na gas line na kailangan, kaya naman binabawasan ang potensyal na mga leak point at dinadali ang proseso ng mass flow control (MFC) calibration.
Other product images Other product images Other product images Other product images Product dimensions Scene image Scene image Scene image

Tungkol sa amin

Itinatag ang AGEM noong 2008 bilang isang multinational na propesyonal na tagagawa at provider ng serbisyo para sa kagamitan sa gas, na may pangunahing opisina sa Taiwan, Tsina. Sa loob ng 16 taon ng tiyak na ekspertise sa industriya, ang malawak na presensya nito sa buong mundo, ang mataas na antas ng paggawa nito, at ang komprehensibong hanay ng mga produkto ay nagpapatatag sa kanyang katayuan bilang isang benchmark na kumpanya sa sektor ng kagamitan sa gas. Sumusunod ang kumpanya sa estratehiya ng global na pag-unlad, na itinatag ang mga modernong sentro ng produksyon sa Mainland China, Taiwan, Tsina, at India, na bumubuo ng isang network ng produksyon at serbisyo na sumasaklaw sa Asya at lumalawig hanggang sa buong mundo. Ang bawat sentro ay kinasasangkapan ng mga de-kompyuter na linya ng produksyon at de-presisyon na kagamitan sa pagsusuri, na nagpapahintulot sa buong proseso ng kontrol mula sa pagproseso ng hilaw na materyales hanggang sa paghahatid ng natapos na produkto. Kasama sa taunang kapasidad sa produksyon nito na palaging nasa nangungunang ranggo sa industriya, ang kumpanya ay kayang mabilis na tumugon sa iba’t ibang pangangailangan ng mga kliyente sa buong mundo. Ang pangunahing negosyo ay nakatuon sa mga pangunahing kagamitan na may kaugnayan sa gas, na sumasaklaw sa buong hanay ng mga produkto tulad ng iba’t ibang industrial na gas, espesyal na valve para sa gas, mataas na presyur na silindro, magaan na silindro na gawa sa aluminum, at mataas na presisyon na pressure reducer. Ang mga produktong ito ay malawakang ginagamit sa mga mahahalagang sektor tulad ng kemikal, elektroniko, pangangalagang pangkalusugan, at enerhiya. Gamit ang malalim na ekspertise sa teknikal, ang mga produkto ay nakakuha ng sertipikasyon ng ISO9001 Quality Management System at ng maraming awtoridad na internasyonal na sertipikasyon, kabilang ang sertipikasyon ng ASME para sa mataas na presyur na kagamitan, sertipikasyon ng CE-PED para sa pagpasok sa EU market, at sertipikasyon ng IECEx para sa anti-explosion na gamit para sa pandaigdigang aplikasyon. Ang mga pangunahing sukatan ng pagganap tulad ng sealing performance, pressure resistance, at safety protection ay umabot na sa internasyonal na antas na nangunguna. Patuloy na binibigyang-prioridad ng kumpanya ang teknolohikal na inobasyon bilang pangunahing lakas sa kompetisyon, na binubuo ng isang internasyonal na R&D team at patuloy na nag-i-inbest sa mga teknolohikal na pag-unlad.
Company overview Competitive advantages Factory profile Factory profile Customization capabilities

Mga Karaniwang Tanong

Ano ang lead time para sa mga custom na halo na may kalinisan na 99.9999% (6N)?

Para sa mga ultra-high purity (UHP) na gas tulad ng CF4/O2, ang karaniwang lead time ay 10–15 araw na may trabaho. Kasali rito ang eksaktong paghalo at maramihang yugto ng pagsusuri sa katatagan upang matiyak ang kalinisan na antas 6N at ang katumpakan ng konsentrasyon.

Paano ninyo sinisiguro ang katumpakan ng konsentrasyon ng halo ng CF4/O2?

Ginagamit namin ang gravimetric method (mataas na presisyong pagbubuhay) habang isinasagawa ang pagpupuno, na siyang pinakatumpak na pamamaraan sa paghalo. Ang bawat cylinder ay sinusuri gamit ang Gas Chromatography (GC) at kasama ang Certificate of Analysis (COA) na maibabalik sa NIST o sa mga pambansang pamantayan.

Stable ba ito na halo dahil naglalaman ito ng parehong Hydrogen (H2) at Oxygen (O2)?

Oo. Sumusunod kami nang mahigpit sa mga protokol sa ligtas na paghalo kung saan ang konsentrasyon ng mga madaling sumabog at oksidatibong sangkap ay pinapanatili sa loob ng ligtas na hangganan o binabalanse gamit ang Argon (Ar) upang matiyak ang kimikal na katatagan at maiwasan ang anumang mapanganib na reaksyon sa loob ng cylinder.

Anong uri ng cylinder at valve ang ginagamit para sa semiconductor gas na ito?

Ginagamit namin ang panloob na passivated aluminum alloy cylinders o polished stainless steel cylinders upang maiwasan ang surface adsorption. Para sa mga gas na may 6N grade, karaniwang nilalagyan namin ng DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 o SS 316L stainless steel valves upang matiyak ang zero leakage at maiwasan ang contamination.

Ano ang mga kinakailangan sa pag-iimbak para sa gas mixture na ito?

Dapat itago ang mga cylinder sa isang cool, dry, at maayos na na-ventilate na lugar, malayo sa direkta na sikat ng araw at mga mapagkukunan ng init (temperatura < 50° C). Siguraduhing nakasecure ang mga cylinder nang patayo upang maiwasan ang pagbagsak.

Nagbibigay ba kayo ng worldwide shipping para sa mga hazardous gases?

Oo, espesyalista kami sa logistics ng Class 2 hazardous goods. Nagbibigay kami ng buong dokumentasyon kabilang ang MSDS (Material Safety Data Sheet), UN-certified packaging, at DG (Dangerous Goods) declarations para sa sea o air freight.

Makipag-ugnayan