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Comprendre l'application des précurseurs de semi-conducteurs en un article
Dec 21, 2023En tant que matériau brut de base du procédé de dépôt de couches minces, les précurseurs de semi-conducteurs incluent l'épitaxie, le dépôt chimique en phase vapeur (Chemical Vapor Material, Deposition, abrégé CVD) et le dépôt en couche atomique (Atomic Layer Deposition, abrégé...
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