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한篇文章으로 반도체 전구체의 적용을 이해하기
한篇文章으로 반도체 전구체의 적용을 이해하기
Dec 21, 2023

박막 증착 공정의 핵심 원료로서 반도체 전구체는 에피택셜, 화학기상증착 (Chemical Vapor Material, Deposition, 약칭 CVD) 및 원자층 증착 (Atomic Layer Deposition, 약칭 ...)을 포함합니다.

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