Plinski kabinet

VSE

• Mešane Plinove

  • Plin Excimer Lasera/Arf Premix Plin
  • Kalibracijski plin

• Etanti

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2O
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Reaktanti

  • NO, Nitrik Oksid
  • H2S
  • CO, Oksid Ugla
  • NH3
  • HCL

• Hidrokarboni

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO/ETO

• Masni in redki plini

  • O2
  • CO2
  • Vodik
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • Kripton
  • Helij
  • Arkon
  • CL2

• Halogenki

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Hladilni plin

  • R290
  • R170
  • R508B

• Oprema za plin

  • Rezervoar Dewar
  • Pomp
  • Stojalo za cilindre
  • Plinski kabinet
  • Regulator kisika
  • VMB
  • ISO Cisterna
  • Kap cilindra
  • Vrata
  • Aluminijev cilinder
  • Čelni cilinder

• Drugi Kemični Sestavin

  • Nalaganje Krema
  • AlH3