Plin za excimer laser/Arf premix plin

Vse

• Drugi kemični sestavin

  • Cream charger
  • AlH3

• Mešane plinove

  • Plin za excimer laser/Arf premix plin

• Etanti

  • GeH4
  • SiH4
  • SiF4
  • BF3
  • HBR
  • N2o
  • WF6
  • SO2
  • SF6

• Reaktanti

  • NO, Iksovski oksid
  • H2S
  • CO, Ogljikov oksid
  • NH3
  • HCL

• Hidrokarboni

  • C2H2
  • C3H8
  • CH4
  • C2H6
  • C3H6
  • C2H4
  • EO\/ETO

• Masovni in redki plinovi

  • O2
  • CO2
  • Vodik
  • N2
  • Xenon
  • Neon
  • Krypton
  • Helij
  • Argon
  • CL2

• Halokarboni

  • C5F8
  • R508B
  • CHF3
  • C4F8
  • CH3F
  • C2F6
  • C4F6
  • CH2F2
  • CF4
  • C3F8

• Hladilni plin

  • R290
  • R170
  • R508B

• Plinska oprema

  • Črpalka
  • Stojalo za cilindre
  • Plinski kabinet
  • Regulator kisika
  • VMB
  • ISO TANK
  • Zapornik valja
  • Klipka
  • Aluminijev valj
  • Jekleni valj