- Pregled
- Poizvedba
- Povezani produkti
Za polprevodniški proces plazmenskega odložanja in etčenja 99,9% C318 perfluorociklobutan hladilna plin C4F8
V proizvodnji polprevodniških materialov in naprav služi oktafluorociklobutan kot odložno gas in etčenje. Tudi je bil raziskan kot hladilna snov v posebnih uporabah, kot zamenjava za ozonsko depleksno člorofluorokarbonsko hladivo. Znebjenosti in kemski neaktivnosti oktafluorociklobutana se izkorišča v nekaterih aerosoliziranih hrani. Pridružuje se kemu pod številko Codex Alimentarius 946 (E946 za EU). Raziskuje se ga kot možna zamenjava za šestfluorsulfid kot dielektrični plin.