Visoko čist plin CF₄ in O₂ (čistota 6N) v mešanici z vodikom in argonom, kalibracijski plin za plazemsko režanje v polprevodniški industriji

Poizvedba

Pregled
Poizvedba
Povezani izdelki

O Proizvodu

Poudarek

Ta ultračistega kalibracijskega mešanica z vsebnostjo 99,9999 % (6N) je specializirana rešitev procesnih plinov, ki je natančno razvita za zahtevne zahteve polprevodniških procesov plazemskega izriva in naprednih tankoslojnih procesov. Z natančnim mešanjem tetrafluorometana (CF4) in kisika (O2) v uravnoteženi matriki vodika (H2) in argona (Ar) ta mešanica zagotavlja točno kemično sinergijo, potrebno za nadzor izbirnosti izriva in anizotropije profila pri izdelavi podnanometrskih struktur. Čistota stopnje 6N zagotavlja, da so sledove kovinskih nečistoč in vlage praktično nepazljive, kar preprečuje kontaminacijo plošč in znatno izboljšuje donose naprav pri zapletenih arhitekturah, kot so 3D NAND in FinFET. Vključitev argona zagotavlja potrebno energijo ionskega bombardiranja za fizično razprševanje, medtem ko je razmerje vodika in kisika natančno prilagojeno za nastavitev pasivacijskih polimernih plasti, kar zagotavlja žlebove z visokim razmerjem višine in širine ter popolnoma navpičnimi stranskimi stenami. Vsak cilinder se pripravi z naprednim gravimetričnim mešanjem in podvrže lastnemu notranjemu pasiviranju, da se zagotovi stabilnost teh reaktivnih sestavin in njihova koncentracija ostane nespremenjena skozi čas. Mešanica se dobavi skupaj s podrobno potrdilom o analizi (CoA) in je sledljiva do mednarodnih standardov; zato je idealna izbira za laboratorije za raziskave in razvoj ter za polprevodniške tovarne z visoko proizvodnjo, ki zahtevajo popolno doslednost v svoji plazemski kemiji. Ta »vse-v-enem« uravnotežena mešanica poenostavi sisteme za dostavo plinov z zmanjšanjem števila posameznih plinskih cevi, s čimer se zmanjša tudi možnost uhajanja in poenostavi postopek kalibracije regulatorjev masnega pretoka (MFC).

O nas

AGEM je bil ustanovljen leta 2008 kot večnacionalni strokovni proizvajalec in ponudnik storitev za plinsko opremo s sedežem na Tajvanu, Kitajska. Z 16-letno posvečeno strokovno izkušnjo v panogi so njegov globalni obseg, izvirna proizvodna obrt in celovit asortiman izdelkov utrdili njegovo položaj kot podjetje, ki predstavlja merilo v panogi plinske opreme. Podjetje sledi strategiji globalnega razvoja in je ustanovilo sodobne proizvodne baze na Kitajskem celini, na Tajvanu, Kitajska, ter v Indiji, s čimer je ustvarilo proizvodno in servisno omrežje, ki pokriva Azijo in se razteza po vsem svetu. Vsaka baza je opremljena z inteligentnimi proizvodnimi linijami in natančno preskusno opremo, kar omogoča nadzor celotnega procesa – od obdelave surovin do dostave končnega izdelka. S stalno med vodilnimi v industriji letno proizvodno zmogljivostjo lahko podjetje hitro reagira na različne potrebe globalnih strank. Jedro poslovanja zajema osnovno plinsko opremo in obsega celoten spekter izdelkov, vključno z različnimi industrijskimi plini, specializiranimi plinskimi ventili, visokotlačnimi jeklenkami, lahkimi aluminijastimi jeklenkami ter visokonatančnimi tlakomernimi regulatorji. Ti izdelki se široko uporabljajo v ključnih sektorjih, kot so kemija, elektronika, zdravstvo in energetika. Na podlagi globokih tehničnih znanj so izdelki pridobili certifikat sistema kakovosti ISO 9001 ter več avtoritativnih mednarodnih certifikatov, med drugim ASME-certifikat za visokotlačno opremo, CE-PED-certifikat za dostop na evropsko tržišče in IECEx-certifikat za varnost proti eksploziji za globalno uporabo. Ključni kazalniki zmogljivosti, kot so tesnilna zmogljivost, odpornost proti tlaku in varnostna zaščita, dosežejo mednarodno napredne ravni. Podjetje vedno postavlja tehnološko inovacijo v središče svoje jedrne konkurenčne prednosti ter je sestavilo mednarodno raziskovalno in razvojno ekipo, ki neprestano investira v tehnološke preboje.

Pogosto zastavljena vprašanja

Kakšen je čas izdelave za po meri izdelane mešanice z 99,9999 % (6N) čistostjo?

Za pline z izjemno visoko čistostjo (UHP), kot sta CF4 in O2, je običajen čas izdelave 10–15 delovnih dni. Vključuje natančno mešanje in večstopenjsko testiranje stabilnosti, da se zagotovi čistost razreda 6N in natančnost koncentracije.

Kako zagotavljate natančnost koncentracije mešanice CF4/O2?

Med polnjenjem uporabljamo gravimetrično metodo (visokonatančno tehtanje), ki je najnatančnejša metoda mešanja. Vsak cilinder se analizira s plinsko kromatografijo (GC) in vsebuje potrdilo o analizi (COA), sledljivo do NIST-a ali nacionalnih standardov.

Je ta mešanica stabilna, saj vsebuje tako vodik (H2) kot kisik (O2)?

Da. Strogo upoštevamo varnostne protokole za mešanje, pri katerih je koncentracija vnetljivih in oksidativnih komponent omejena znotraj varnih mej ali uravnotežena z argonom (Ar), da se zagotovi kemična stabilnost in preprečijo morebitne nevarne reakcije znotraj cilindra.

Kakšen tip cilindra in ventila se uporablja za ta polprevodniški plin?

Za preprečevanje površinske adsorpcije uporabljamo notranje pasivirane cilindre iz aluminijevih zlitin ali polirane jeklene cilindre iz nerjavnega jekla. Za pline stopnje 6N običajno namestimo ventile DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 ali iz nerjavnega jekla SS 316L, da zagotovimo popolnoma tesne zaprtja in preprečimo kontaminacijo.

Kakšni so zahtevani pogoji za shranjevanje te mešanice plinov?

Cilindre je treba shranjevati na hladnem, suhem in dobro prezračevanem mestu, daleč od neposredne sončne svetlobe in virov toplote (temperatura < 50 °C). Cilindre je treba varno pritrditi v pokončnem položaju, da se prepreči njihovo prevrnitev.

Ponujate mednarodno dostavo nevarnih plinov?

Da, specializirani smo za logistiko nevarnih blaga razreda 2. Zagotavljamo vso dokumentacijo, vključno z MSDS (Material Safety Data Sheet), pakiranjem, certificiranim po standardih Združenih narodov (UN), ter izjavi o nevarnem blagu (DG) za prevoz po morju ali z zrakom.