EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Visokočist C4F6 heksafluorobutadien (99,999 %), 10 L oziroma 8 L, oskrba z plinom za visokotehnološke aplikacije in proizvodnjo elektronike
- Pregled
- Povpraševanje
- Sorodni izdelki
O Proizvodu
Poudarek
Čistota za elektronsko rabo za proizvodnjo polprevodnikov: Naš C4F6 je na voljo v izjemno visokih stopnjah čistote do 5N (99,999 %) z izjemno nizkimi koncentracijami primesi, vključno z kisikom (O2), vlago (H2O) in ogljikovodiki, kar zagotavlja odlično stabilnost plazme, dosledno zmogljivost pri režanju in visoko ponovljivost procesa, ki so nujne za napredno izdelavo polprevodniških naprav. Optimiziran za napredne aplikacije plazemskega režanja: C4F6 je posebej zasnovan za visoko natančne procese plazemskega režanja, vključno z režanjem dielektričnih plasti, režanjem oksidnih plasti, vzorčenjem materialov z nizko dielektrično konstanto (low-k) ter nadzorom kritičnih dimenzij. V primerjavi s konvencionalnimi fluorougljikovimi plini, kot so CF4, C2F6 in C3F8, ponuja odlično selektivnost, anizotropno sposobnost režanja in izboljšano natančnost profila, kar ga naredi idealnega za napredno proizvodnjo logičnih vezij, pomnilnikov in MEMS-ov. Alternativa z nizkim potencialom globalnega segrevanja (GWP): V primerjavi s tradicionalnimi perfluorougljikovi plini C4F6 zagotavlja višjo učinkovitost režanja, nižjo porabo plina in zmanjšan vpliv na okolje, kar pomaga proizvajalcem polprevodnikov doseči cilje trajnostnosti, hkrati pa ohranja visoko zmogljivost proizvodnje in donosnost. Stroga kontrola primesi in vlage: Uporabljamo napredne sisteme čiščenja plinov, natančne analizne instrumente in stroge protokole nadzora kakovosti, da zagotovimo vsebnost vlage (H2O) ≤ 1 ppm, kisika (O2) ≤ 1 ppm in skupne vsebnosti ogljikovodikov ≤ 1 ppm, kar učinkovito preprečuje kontaminacijo ploščic, nestabilnost plazme in napake v procesu ter zagotavlja dosledno in zanesljivo zmogljivost obdelave polprevodnikov. Certificirane jeklene posode z površinsko obdelavo za polprevodniške namene: Naš C4F6 dobavljamo v standardnih velikostih posod 47 L in 10 L ter po meri, izdelanih v skladu z mednarodnimi standardi ISO 9809, DOT 3AA in TPED EN, z možnostjo notranjega elektropoliranja in pasivacije, da se zmanjša nastajanje delcev, prepreči kontaminacija plina in ohrani izjemno visoka čistota plina med shranjevanjem in uporabo.
O nas
AGEM je bil ustanovljen leta 2008 kot večnacionalni strokovni proizvajalec in ponudnik storitev za plinsko opremo s sedežem na Tajvanu, Kitajska. Z 16-letno posvečeno strokovno izkušnjo v panogi so njegov globalni obseg, izvirna proizvodna obrt in celovit asortiman izdelkov utrdili njegovo položaj kot podjetje, ki predstavlja merilo v panogi plinske opreme. Podjetje sledi strategiji globalnega razvoja in je ustanovilo sodobne proizvodne baze na Kitajskem celini, na Tajvanu, Kitajska, ter v Indiji, s čimer je ustvarilo proizvodno in servisno omrežje, ki pokriva Azijo in se razteza po vsem svetu. Vsaka baza je opremljena z inteligentnimi proizvodnimi linijami in natančno preskusno opremo, kar omogoča nadzor celotnega procesa – od obdelave surovin do dostave končnega izdelka. S stalno med vodilnimi v industriji letno proizvodno zmogljivostjo lahko podjetje hitro reagira na različne potrebe globalnih strank. Jedro poslovanja zajema osnovno plinsko opremo in obsega celoten spekter izdelkov, vključno z različnimi industrijskimi plini, specializiranimi plinskimi ventili, visokotlačnimi jeklenkami, lahkimi aluminijastimi jeklenkami ter visokonatančnimi tlakomernimi regulatorji. Ti izdelki se široko uporabljajo v ključnih sektorjih, kot so kemija, elektronika, zdravstvo in energetika. Na podlagi globokih tehničnih znanj so izdelki pridobili certifikat sistema kakovosti ISO 9001 ter več avtoritativnih mednarodnih certifikatov, med drugim ASME-certifikat za visokotlačno opremo, CE-PED-certifikat za dostop na evropsko tržišče in IECEx-certifikat za varnost proti eksploziji za globalno uporabo. Ključni kazalniki zmogljivosti, kot so tesnilna zmogljivost, odpornost proti tlaku in varnostna zaščita, dosežejo mednarodno napredne ravni. Podjetje vedno postavlja tehnološko inovacijo v središče svoje jedrne konkurenčne prednosti ter je sestavilo mednarodno raziskovalno in razvojno ekipo, ki neprestano investira v tehnološke preboje.
Pogosta vprašanja
Kakšne stopnje čistote C4F6 ponujate
Ponujamo C4F6 za polprevodniške namene, vključno s stopnjo 4N (99,99 %), 4,5N (99,995 %) in 5N (99,999 %). Višje stopnje čistote so na zahtevo na voljo.
Kakšne so tipične uporabe C4F6
C4F6 se predvsem uporablja pri plazemskem režanju polprevodnikov, režanju dielektričnih plasti, režanju oksidov, režanju dielektričnih plasti z nizko dielektrično konstanto (low-k), izdelavi MEMS in napredni izdelavi integriranih vezij.
Kakšne velikosti jeklenk so na voljo
Standardna embalaža vključuje jeklenke prostornine 47 L, 10 L, 8 L ter po meri izdelane jeklenke na zahtevo. Za polprevodniške aplikacije je na voljo notranje elektropoliranje jeklenk.
Kakšen je tipičen tlak napolnjevanja in teža napolnjevanja
Tipični parametri napolnjevanja vključujejo tlak napolnjevanja do 13–15 MPa in težo napolnjevanja približno 20–25 kg v jeklenki prostornine 47 L. Natančna teža napolnjevanja je odvisna od stopnje čistote in zahtev stranke.
Kakšna vrsta ventila se uporablja za jeklenke C4F6
Pogosti tipi ventila vključujejo CGA 716, DISS 716 in prilagojene ventile za polprevodniške namene. Izbira ventila se lahko prilagodi glede na regionalne standarde.
Kako zagotavljate čistoto in stabilnost plina?
Kakovost zagotavljamo z naprednimi sistemi za čiščenje plinov, tehnologijo odstranjevanja vlage in kisika, analizo plinske cromatografije (GC) ter potrdilom o analizi (COA), ki ga dobite z vsakim cilindrom.
Kakšen je rok dobave?
Običajen rok dobave je 15 do 25 dni po prejemu predplačila. Hitrejša dobava je mogoča glede na razpoložljivost zaloge in pripravo cilindrov.
Z katerimi certifikati so skladni vaši cilindri?
Naši cilindri izpolnjujejo standarde ISO 9809, DOT 3AA, TPED in EN. Po zahtevi je na voljo tudi pregled s strani neodvisne tretje strani.
