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1つの記事で半導体前駆体の応用を理解する
1つの記事で半導体前駆体の応用を理解する
Dec 21, 2023

薄膜形成プロセスの核心的な原材料として、半導体前駆物質にはエピタキシャル成長、化学気相成長(Chemical Vapor Material, Deposition、略してCVD)と原子層成長(Atomic Layer Deposition、略してALD)が含まれます…

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